无论是在工业、农业、能源、交通、医疗、生态环境等各个方面，还是在日常生活中，氧是需要控制与测量最多的一种物质元素。氧气是人类生命所不可缺少的元素，因此氧气传感器已成为各类传感器中一种十分重要的器件，具有广泛的用途。

目前实用化氧气传感器中，各种传感器各具特色，但极限式氧传感器由于具有选择好、灵敏度高、无须参考气体等优点，已成为氧气传感器的主要发展方向。极限式氧传感器本身也朝着小型化、平面化、集成化方向发展。

随着人类文明的进步，对生活质量及环境保护要求的提高，会对氧气传感器的特性提出更高的要求，这就激励我们必须不断地进行深入研究，开发出性能更优异的氧传感器来满足人们的要求。

随着科技的进步，新一代氧气传感器的制作，将会朝向微小化、集成化、智慧化方面发展，其中以硅为基板材料的微制作过程与微细加工技术，可将感测元件推往平面化及微小化，对未来氧气传感器的发展及大量生产将有很大帮助。