臭氧传感器是一种将臭氧气体的成份、浓度等信息转换成可以被人员、仪器仪表、计算机等利用的信息的装置。

1、半导体臭氧传感器

具有成本低廉、制造简单、灵敏度高、响应速度快、寿命长、对湿度敏感低和电路简单等优点。不足之处是必须工作于高温下、对气味或气体的选择性差、元件参数分散、稳定性不够理想、功率要求高。

2、电化学型臭氧传感器

需要由外界施加特定电压，优点是检测气体的灵敏度高、选择性好。

3、固体电解质臭氧传感器

是一种以离子导体为电解质的化学电池，电导率高、灵敏度和选择性好。

4、光学式臭氧传感器

具有自动校正、自动运行的作用。其主要优点是灵敏度高、可靠性好。

5、高分子臭氧传感器

具有易操作性、工艺简单、常温选择性好、价格低廉、易和微结构传感器和声表面波器件相结合等特点。